该校最早的渊源可以追溯到由腓特烈二世在1770 年10月发起创立的采矿学院。另一个源头是1799年3月13日创建的建筑学院。第三个来源是初创于1821年的皇家职业学院。1879年，由三个学院合并成立皇家柏林工业高等学院(Koenigliche Technische Hochschulezu Berlin),亦称夏洛腾堡工学院（Technische Hochschule Charlottenburg）。该校是德国始创最早的高等工业学院，并在1899年开始颁发博士文凭。

在第三帝国时期设立了防卫技术专业，导致学校从1945年4月20日起被关闭了一段时间。当学校在1946年4月9日重新开始教学时，新开设了人文类的专业，使得学院升格为大学，开始启用新名称：柏林工业大学（Technische Universit?t Berlin），也是德国第一所工业大学（Technische Universit?t）。